半导体测试手动探针台是北京市北京亿海浩天科技有限公司专门为教学及科研机构量身定制的,具有良好的性能价格比,可测量10-14A微小电流,配合测量仪器可完成标准MOS准静态C-V和高频(1MHz)C-V等测量要求。操作简便,性能稳定可靠,屏蔽效果好。 已在北京大学、复旦大学、大连理工等多所科研机构和高校应用。
设备构成
电、磁、光屏蔽箱 1个;测试台底座 1个;承载台移动控制 1套;探针固定圆环 1个;探针座 4个;探针10根(针尖尺寸客户选定);显微镜固定支架 1个;显微镜 1个;目镜 10X 1对,25X 1对。
探针台屏蔽箱具有电、磁、光屏蔽功能,采用钢板制造,表面喷塑处理;箱体左右两侧有外部信号接口-TRIAX 和BNC插头,接地线柱;后部有显微镜照明电源接口和接地线柱;箱体两侧有手柄方便搬运;前盖有手柄方便开盖。
台面可沿X,Y,Z方向移动,尺寸为3-8英寸定制,常温台面;★ 探针座可沿X,Y,Z方向移动,分普通和精密两种,连线为BNC电缆线;★ 显微镜为连续变倍体式显微镜,可沿Y,Z方向移动,最大 150X 放大倍数,照明采用冷光源LED环形灯或环形荧光灯。
电气指标:
绝缘电阻:>1013欧姆 ;
测量电流:在屏蔽有效的情况下,可测量小于1pA电流;
寄生串连电阻:<10欧姆 ;
测量试验要求:标准MOS的准静态C-V和高频(1MHz)C-V;漏电流小于1pA的薄膜的漏电流量测;关上屏蔽箱与开启屏蔽箱测量结果的区别以验证屏蔽效果
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