[供应商机]光谱椭偏仪
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发布日期:2008年7月2日
有 效 期:2008年8月1日
公    司: 巨力科技股份有限公司
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技术参数 

膜厚范围:0-30000nm 

折射指数:± 0.0001 

厚度准确度:± 0.01nm 

入射角度:20 - 90° 

波长范围:250-1100nm(深紫外、近红外、红外可选) 

Psi=±0.01°,Delta=±0.02° 

 

主要特点 

 

 

仪器介绍  

 

世界级高精度光谱椭偏仪。入射角可变(20-90°)。根据客户需求,可提供不同型号:



如单波长(632.8nm)、多波长、



深紫外、紫外-可见-近红外光谱椭偏仪(190-2300nm)



红外光谱椭偏仪等。



可以测量折射指数、消光系数(n & K),膜厚等,广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料,单层薄膜和多层膜。

 
规  格
厚度准确度:± 0.01nm


巨力科技股份有限公司
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